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深圳市零重力工业设计CETC 中国电科 光刻机

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  • 专业设备
  • ZR 轴机器人集成 Z 轴升降与 R 轴旋转功能，内置真空气路与传感元件，可完成升降、螺旋、原地旋转三类动作。相比传统外置旋转平台结构，它体积小巧、支持多轴扩展，拥有微米级定位与克级力控精度，多用于半导体、消费电子自动化制程，能够精简设备结构、提升效率并降低研发成本。